Интерферометр Майкельсона задумывали как лабораторную работу для студентов, но он оказался слишком хорош для учебного стенда. Разработчики надеются, что на его основе получится заменить снятые с производства контактные интерферометры ИКПВ и сделать первый шаг к отечественной лазерной измерительной системе.
Прибор собрали аспирант Дмитрий Еремин и магистрантка Дарья Комина под руководством профессора Дмитрия Мастеренко. Вместо гелий-неонового лазера за сотни тысяч рублей в нём стоит компактный диод на 635 нм, а считает прибор световые волны, которые укладываются на измеряемом расстоянии. При сличении с Renishaw XL-80 каретку сдвигали на несколько микрометров, и показания приборов совпали в пределах разрешения стенда.
Сейчас дискретность составляет около 0,33 мкм, это половина длины волны лазера. Чтобы улучшить результат, авторы хотят считать не только целые интерференционные полосы, но и их доли. Если делить каждую полосу на 20 частей, дискретность вырастет примерно до 0,016 мкм, а погрешность составит 0,02–0,03 мкм. До нанометров, как подчёркивает Мастеренко, никто не планирует, максимум до десятков нанометров.
Применять интерферометр хотят в метрологических лабораториях для поверки концевых мер длины, а не на работающих станках. Для лазера разрабатывают аппаратную температурную стабилизацию. Микроконтроллеры, в том числе «Амур», в приборе используются, но корректировку лазера они не выполняют.
Источник: www.ferra.ru