Ключевой элемент установки уже испытан, а первый опытный образец рассчитывают создать через три года.
По сообщениям газеты «Известия», российские разработчики представили проект многолучевого электронного литографа, который теоретически способен сократить время обработки кремниевой пластины примерно в 3000 раз по сравнению с традиционными однолучевыми литографами.
Ключевой элемент российской разработки — мультикатод, который уже изготовили и испытали. В отличие от традиционной схемы с одним электронным лучом, российский мультикатод сразу создает множество параллельных электронных пучков. По словам авторов проекта, это позволяет отказаться от сложной системы расщепления одного луча, уменьшить энергопотребление оборудования и потенциально снизить его стоимость.
Сама концепция многолучевой электронной литографии не является новой. Уже несколько десятилетий исследовательские центры и компании по всему миру работают над такими системами, поскольку главным недостатком классической электронной литографии остается низкая скорость обработки пластин. Использование множества электронных лучей позволяет распараллелить процесс и значительно повысить производительность.
Сейчас проект находится на стадии завершенных научно-исследовательских работ. Полноценный литограф пока не создан — его создание должно начаться в рамках опытно-конструкторских работ. Разработчики рассчитывают изготовить первый опытный образец примерно через три года. В перспективе установку планируют использовать для производства микросхем с различными технологическими нормами — от 350 нм до нескольких нанометров.
Источник: hi-tech.mail.ru