Минпромторг РФ направит около 1,4 млрд рублей на разработку отечественного оборудования для жидкостной химической обработки кремниевых пластин. Речь идёт об автоматизированной линии для травления, очистки и сушки пластин диаметром 100, 150 и 200 мм. Установка должна заменить американские и японские аналоги, которые сейчас используются на российских предприятиях.
Тендер на создание опытного образца уже размещён на портале госзакупок. По условиям закупки, установка должна обрабатывать пластины диаметром до 200 мм и принимать до 100 штук за цикл. Также она должна работать минимум с восемью химическими реагентами, включая плавиковую, серную и соляную кислоты, аммиак и перекись водорода.
Для разных операций будут использоваться разные составы, а система должна автоматически переключаться между ними без смешивания несовместимых веществ. Ключевые узлы — ротор, система подачи химии, контроллер и программное обеспечение — должны быть российского производства. Импортные компоненты допустимы только по согласованию с заказчиком.
Завершить работы Минпромторг рассчитывает к ноябрю 2029 года. Исполнитель был определён 19 июня, но его название в системе госзакупок скрыто. В министерстве при этом не раскрыли победителя конкурса до подписания контракта, но подтвердили, что дальше это направление будут развивать в рамках программы по электронному машиностроению.
Эксперты поясняют, что жидкостное травление — это обработка поверхности пластины химическим раствором, который равномерно растворяет материал. Такой метод используют для удаления толстых слоёв, очистки от загрязнений и выборочного снятия материалов без дефектов.
На ранних этапах массового производства жидкостное травление применяют чаще, тогда как для более точных операций используют плазмохимическое травление. В этом случае в вакуумной камере на материал воздействует ионизированный газ, что позволяет формировать структуры с высокой точностью. Жидкостный метод при этом дешевле и проще в организации серийного процесса.
На стадии химической обработки закладывается качество будущей микросхемы, поэтому установка должна обеспечивать травление, промывку и сушку пластин в строго контролируемых условиях. От стабильности этих процессов зависит надёжность всего техпроцесса.
Прямых российских аналогов такой установки сейчас нет. При этом в стране есть отдельные компетенции в автоматизации, химически стойких материалах и промышленном ПО. Эксперты также допускают, что за разработку могут взяться структуры группы «Элемент», включая НИИМЭ и НИИТМ.
По оценке специалистов, заявленного финансирования хватит на опытно-конструкторские работы, но без серьёзного запаса. Подобные проекты требуют длительной доводки, испытаний, работы в чистых помещениях и множества итераций. Ключевым фактором здесь станет кооперация и доступ к технологической базе и материалам.
В июне 2026 года Минпромторг разместил и другие закупки на опытно-конструкторские работы в микроэлектронике. Общий объём финансирования составил 7,6 млрд рублей. Эти средства планируют направить на разработку оборудования и материалов для литографии, молекулярно-лучевой эпитаксии, контроля ионного легирования и сканирующей электронной микроскопии.
По данным директора департамента станкостроения и тяжёлого машиностроения Минпромторга Валерия Пивеня, объём производства в отрасли вырос с 2,93 млрд рублей в 2023 году до 5,32 млрд рублей в 2025 году. В 2026 году показатель может увеличиться ещё почти на 5% — до 5,58 млрд рублей.
Источник: habr.com