Оборудование должно заменить зарубежные аналоги и обеспечить серийное производство микросхем.
Минпромторг России направит более 1,4 млрд рублей на разработку отечественного оборудования для производства микроэлектроники. Речь идет о создании автоматизированной установки для жидкостной химической обработки кремниевых пластин, которая должна заменить используемые сегодня зарубежные аналоги. Об этом сообщили «Ведомости» со ссылкой на материалы портала госзакупок.
Согласно документации, стоимость проекта превышает 1,43 млрд рублей. Новая установка будет предназначена для автоматического выполнения операций травления, очистки и сушки кремниевых пластин диаметром 100, 150 и 200 мм, применяемых при выпуске микросхем.
Оборудование должно обеспечивать обработку не менее 100 пластин за один цикл. При этом установка будет работать как минимум с восемью различными химическими реагентами и деионизированной водой, автоматически выбирая необходимый состав в зависимости от технологического процесса.
Как отмечают «Ведомости», подобные установки необходимы для серийного производства микросхем. Во время жидкостного травления поверхность кремниевой пластины обрабатывается химическим раствором, который равномерно растворяет материал. По словам руководителя проектов компании «Интеллектуальная аналитика» Тимофея Воронина, технология позволяет быстро удалять толстые слои материала, очищать пластины от органических загрязнений и избирательно вытравливать различные материалы без образования дополнительных дефектов.
Одним из ключевых требований проекта станет максимальная локализация производства. В конкурсной документации указано, что основные узлы установки должны быть изготовлены в России. Использование импортных комплектующих допускается только после согласования с заказчиком.
Источник: hi-tech.mail.ru